国内半导体领域温度在线测量及解决方案

和其光电团队与半导体研究人员一起为半导体关键应用提供坚固和**的OEM温度监控方案。和其光电基于荧光技术的光纤温度传感器是沉积室或射频等离子刻蚀中半导体晶圆制造过程表面温度测量的理想选择，提供**和可重复性。我们坚固的传感器对射频和电磁干扰**，不受光纤弯曲、光纤移动和光学连接点的影响，因此可以给晶片提供**和高**性原位温度测量。与热敏电阻和热电偶不同，光纤传感器不受很多严苛环境的影响。
    和其光电采用原创发明技术，利用微小的荧光光纤传感探头，可实现微小单元的温度**测量，也可以采用非接触的方式，实现直径在100μm以下或截面在100μm ×100μm以下的较微小单元温度的**测量。在很多高电磁、射频和高电压等不利条件下，和其光电提供**的重复性、再现性和**性。标准测温范围是-40°C～300°C，标准测温精度是±0.5℃,依据客户要求测温精度可达到±0.05℃～±0.1℃。光纤温度传感器包含一个玻璃套管或陶瓷套管，可耐压绝缘，在很多不利的操作环境下得到较大限度保护。

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